矽片是光伏產業和芯片產業中極為重要的生產原材料,而這些年光伏產業迅猛發展,也使得矽片的需求量大大增加。矽片切割加工又是矽片生產中的一個重要環節,其加工設備——高質量精密切割設備廠家是一種機電一體化程度、運行精度都較高的專用裝備。多線切割機設備配有多個不同類型的軸承箱以支撐相關部件的運轉,軸承箱往往是多線切割機的重中之重,軸承箱的密封問題較為突出並且內裏的軸承極為容易損壞,迫切需要一種方法能夠檢測矽片多線切割機中軸承箱軸承的疲勞情況。而對軸承進行定期的檢測,既能夠防止生產過程中事故的發生,而且也能夠減少重要部件的隨意更換,更大效率地利用軸承,因而軸承故障診斷一直都是高質量精密切割設備的重點研究技術之一。

隨著太陽能電池和大規模集成電路的迅速發展,尤其是集成電路的製作過程中大直徑和大直徑的單晶矽片的廣泛應用,傳統的矽片加工方法由於加工效率低、表麵完整性差、加工半徑小以及成本高等缺點已經不能滿足如今的需求。河南高質量精密切割設備以其加工效率高、切片薄、加工直徑大等優點很快脫穎而出,成為了矽片切割市場的主流。由於我國該技術發展滯後,多線切割機床大多依賴於進口,不適應該產業的發展。對於多線切割機床的研製以及該技術的研究,雖然還處於起步階段,但已經受到廣泛重視。基於大尺寸矽片的多線切割原理,分析多線切割技術的材料去除機理;對高質量精密切割設備的整體剛度進行研究;對遊離磨料線鋸加工切片的表麵粗糙度進行建模和預測,並分析同所有片表麵粗糙度的不均勻性。在遊離磨料多線切割過程中,研磨液由有機溶液基底和磨粒配比而成,是工件材料去除的直接原因。它對工件表麵有兩個作用,分別是液體對工件材料表麵產生的作用和SiC磨粒對工件材料表麵產生的作用。

集成電路、光伏和半導體照明產業是我國戰略性產業之一。河南高質量精密切割設備是太陽能光伏發電、大規模集成電路等電子產業中基片加工的創新性核心工藝和主流技術,可以大幅度提高出片率、切片質量和生產效率。多線切割機控製係統複雜,控製精度要求非常高。目前國內多線切割機產品大部分依賴從國外進口,高質量精密切割設備的核心控製技術已成為製約國內多線切割機市場發展的技術瓶頸。多電機速度同步係統和張力係統是控製係統研究的重點和難點。本文針對多電機速度同步控製和張力控製等關鍵技術進行了理論分析與實際開發,對國內多線切割機控製係統的設計、開發和調試提供了一些理論依據,具有一定的理論意義和實際應用價值。本課題以實驗室原有多線切割機樣機為研究對象,設計了一套高精度、高速度的控製係統。

河南高質量精密切割設備是IC(集成電路)、IT(信息技術)、PV(光伏)等行業核心器件基片製造流程中的關鍵裝備。多線切割是目前非常先進的切片加工技術,其原理是通過金屬線的高速往複運動把磨料帶入待切割材料加工區域進行研磨,將待切件同時切割為數百或數千片薄片的創新性切片工藝。但多線切割機製造技術難度大,其核心技術長期被瑞士、日本等國家的極少數公司所壟斷,嚴重製約了我國半導體照明、光伏、集成電路製造等產業的發展。開發具有自主知識產權的多線切割技術及裝備,已成為突破國外技術封鎖和國內產業瓶頸的關鍵舉措。

河南高質量精密切割設備製造技術難度大，其核心技術長期被瑞士、日本等國家的極少數公司所壟斷，因而國內使用的多線切割機全部依賴進口．嚴重製約了我國半導體照明、光伏、集成電路製造等產業的發展。我國每年進口多線切割機約 200 台以上，而且 隨著全球光伏產業的不斷發展，隨著我國光伏產業振興計劃的不斷提升．切片機市場需求將會大幅提高．因而，開發具有自主知識產權的高質量精密切割設備廠家及裝備．己成為突破國外技術封鎖和國內產業瓶頸的關鍵舉措。